??檢流計(jì)掃描儀是使用激光掃描的一種方法。利用電磁電動(dòng)機(jī)帶動(dòng)安裝于

旋轉(zhuǎn)軸上的光學(xué)元件（鏡子或透鏡）高速旋轉(zhuǎn)，伺服驅(qū)動(dòng)器根據(jù)位置傳感器的輸出控制電動(dòng)機(jī)高速、高精度地實(shí)現(xiàn)掃描功能。

通過(guò)使用兩個(gè)振鏡掃描儀（一個(gè)用于 X，一個(gè)用于 Y），可以在二維表面上進(jìn)行激光掃描。還有 3D 振鏡掃描儀，通過(guò)添加 Z 向振鏡掃描儀，可以進(jìn)行三維掃描。

振鏡掃描儀應(yīng)用

它用于高速、高精度激光鉆孔，激光打標(biāo)、焊接等工藝，以及使用流行的光固化樹(shù)脂的3D打印機(jī)的激光掃描。用于需要微米級(jí)精度的零件加工。它們

還用于光學(xué)相干斷層掃描（OCT），以可視化組織的微小內(nèi)部結(jié)構(gòu)，利用其納米級(jí)可控性，對(duì)生物化學(xué)和生物工程中使用的分光光度計(jì)、共聚焦顯微鏡和激光顯微鏡中的旋轉(zhuǎn)色散元件進(jìn)行高精度、高速、大范圍掃描。

振鏡掃描器的原理

振鏡掃描器具有掃描精度高、速度快、分辨率高、操作簡(jiǎn)便、性?xún)r(jià)比高等特點(diǎn)。由于它即使在長(zhǎng)期高速運(yùn)行和溫度變化的情況下仍能保持較高的重復(fù)定位精度，因此被廣泛應(yīng)用于激光掃描等場(chǎng)合。

鏡子尺寸（慣性）決定了檢流計(jì)掃描器的配置。由于選擇了適合慣性的掃描儀，如果將鏡子更換為重量或重心不同的鏡子，它可能無(wú)法正常工作。

在選擇振鏡掃描器時(shí)，不僅要考慮鏡面尺寸，還要考慮掃描方式（步進(jìn)掃描、光柵掃描、矢量掃描）、所要求的速度和精度，根據(jù)用途選擇合適的振鏡掃描器。另外，旋轉(zhuǎn)范圍有限制（例如±30度），請(qǐng)注意。

根據(jù)所用激光的波長(zhǎng)，鏡子可具有多種涂層。